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在科技創(chuàng)新論壇會議上,臺積電研發(fā)負(fù)責(zé)人、技術(shù)研究副總經(jīng)理黃漢森除了探討未來半導(dǎo)體工藝延續(xù)到0.1 nm的可能之外,還宣布了一個(gè)重要消息——臺積電已經(jīng)啟動(dòng)2 nm工藝研發(fā),預(yù)計(jì)四年后問世。 在臺積電目前的工藝規(guī)劃中,6 nm只是7 nm的一個(gè)升級版,明年第一季度試產(chǎn)。5 nm全面導(dǎo)入EUV極紫外光刻,已經(jīng)開始風(fēng)險(xiǎn)性試產(chǎn),明年年底之前量產(chǎn),蘋果A14、AMD五代銳龍(Zen 4都有望采納),之后還有個(gè)增強(qiáng)版的N5P工藝。3 nm有望在2021年試產(chǎn)、2022年量產(chǎn)。在3 nm之后,就要進(jìn)入2 nm工藝了,實(shí)際上臺積電今年6月份就宣布研發(fā)2 nm工藝了,工廠設(shè)置在位于臺灣新竹的南方科技園,預(yù)計(jì)2024年投入生產(chǎn)。 按照臺積電給出的指標(biāo),2 nm工藝是一個(gè)重要節(jié)點(diǎn),Metal Track(金屬單元高度)和3 nm一樣維持在5x,同時(shí)Gate Pitch(晶體管柵極間距)縮小到30 nm,Metal Pitch(金屬間距)縮小到20 nm,相比于3 nm都小了23%。
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